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PRECURSOR

TEMAHf

TEMAHfTetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)

DRAM & Flash Dielectric
제품상세정보테이블
Chemical Name TEMAHf [Tetrakis(ethylmethylamido)hafnium(IV)]
Formula C12H32HfN4
Molecular Weight 410.90 g/mol
Boiling Point 288 ℃
Vapor pressure 0.004 torr / 20℃
Density 1.324 g/mL
Phase at 25℃ Colorless to pale yellow liquid
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